T/NLIA 002-2021
車載用MEMS圧力センサーのポッティングプロセスシミュレーション仕様 (英語版)

規格番号

T/NLIA 002-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/NLIA 002-2021

範囲

このドキュメントは、車載 MEMS 圧力センサー ポッティング プロセスのシミュレーション情報を規定しており、車載 MEMS 圧力センサー ポッティング プロセスの基本的なプロセス シミュレーション プロセス (シミュレーション モデルの構築、シミュレーション動作解析、結果の評価、プロセスの最適化など) が含まれています。 このドキュメントは、自動車用 MEMS 圧力センサー製品の製造、供給、使用をガイドし、センサー プロセス シミュレーション モデルの使用とポッティング プロセスの改善を促進するために使用されます。 このドキュメントに該当する自動車用 MEMS 圧力センサー製品には、自動車用タイヤ空気圧センサー、油圧センサー、燃圧センサー、燃料蒸気圧センサー、ブレーキ真空センサー、自動車後部排気センサーなどが含まれます。 圧力センサーなど

T/NLIA 002-2021 発売履歴

• 2021 T/NLIA 002-2021 車載用MEMS圧力センサーのポッティングプロセスシミュレーション仕様