BS ISO 20146:2019
真空技術 真空計の仕様、校正、および測定の不確かさ 容量性ダイヤフラム圧力計

規格番号

BS ISO 20146:2019

制定年

2019

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 20146:2019

範囲

この規格は何についてのものですか?この文書では、静電容量ダイアフラム ゲージ (CDG) に関連する用語を定義し、CDG に指定する必要があるパラメータを指定し、その校正手順を詳細に説明し、これらのゲージを操作するときに考慮する必要がある測定の不確かさを説明します。 この文書は、CDG を校正し、参照標準として使用する場合に、ISO 3567 および ISO 27893 を補完します。

BS ISO 20146:2019 発売履歴

• 2019 BS ISO 20146:2019 真空技術 真空計の仕様、校正、および測定の不確かさ 容量性ダイヤフラム圧力計