BS ISO 11952:2019
表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正

規格番号

BS ISO 11952:2019

制定年

2019

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 11952:2019

範囲

ISO 11952 - 走査型プローブ顕微鏡とは何ですか? ISO 11952 はキャニングプローブ顕微鏡に適用されます。 ISO 11952 は、最高レベルで幾何学量を測定するための走査型プローブ顕微鏡 (SPM) の走査軸の特性評価および校正方法を規定しています。 これは、さらなる校正を提供するものに適用されます。 注 - より低いレベルの校正が必要な一般産業での使用を目的としたものではありません。 誰が

BS ISO 11952:2019 発売履歴

• 2019 BS ISO 11952:2019 表面化学分析 走査型プローブ顕微鏡 SPM を使用した幾何学的量の決定: 測定システムの校正