GSO IEC 62047-11:2021
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

GSO IEC 62047-11:2021

制定年

2021

出版団体

GSO

最新版

GSO IEC 62047-11:2021

範囲

IEC 62047-11:2013 は、長さが 0 までの薄い自立固体 (金属、セラミック、ポリマーなど) マイクロ電気機械システム (MEMS) 材料の線熱膨張係数 (CLTE) を測定する試験方法を指定しています。 MEMSやマイクロマシンなどに使用される主要構造材料である、幅10μm～1mm、幅10μm～1mm、厚さ0.1μm～1mmの試験方法であり、温度におけるCLTE測定に適用できます。 室温から材料の溶融温度の 30 % までの範囲です。

GSO IEC 62047-11:2021 発売履歴

• 2021 GSO IEC 62047-11:2021 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法