T/CNIA 0016-2019
ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコンの回収水素中の塩化水素、窒素、酸素、総炭素量の定量 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0016-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0016-2019

範囲

この規格は、多結晶シリコンの回収水素中の塩化水素、窒素、酸素、および総炭素含有量を測定するためのガスクロマトグラフィー法を規定しています。 この規格は、ポリシリコンの回収水素中の塩化水素、窒素、酸素、総炭素量の測定に適用され、測定範囲は(0-10000)×10-6です。

T/CNIA 0016-2019 発売履歴

• 2019 T/CNIA 0016-2019 ガスクロマトグラフィーによる多結晶シリコンの回収水素中の塩化水素、窒素、酸素、総炭素量の定量