T/CCGA 30001-2019
超高純度アンモニア (英語版)

規格番号

T/CCGA 30001-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CCGA 30001-2019

範囲

この規格は、超高純度アンモニア製品の技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管などを規定しています。 この規格は、工業用液体アンモニアから吸着前精製、蒸留精製、最終精製を経て製造される超高純度アンモニア製品に適用されます。 この製品は、マイクロエレクトロニクス窒化ケイ素マスキングフィルムの主原料であり、半導体、オプトエレクトロニクス、発光ダイオード（LED）産業にとって重要な原料です。

T/CCGA 30001-2019 発売履歴

• 2019 T/CCGA 30001-2019 超高純度アンモニア