UNE-EN 62047-21:2014
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 21 部: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法

規格番号

UNE-EN 62047-21:2014

制定年

2014

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62047-21:2014

UNE-EN 62047-21:2014 発売履歴

• 2014 UNE-EN 62047-21:2014 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 21 部: 薄膜 MEMS 材料のポアソン比の試験方法