DIN EN 62047-13:2012-10
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 13 部：MEMS 構造の接合強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法
- 規格番号
- DIN EN 62047-13:2012-10
- 制定年
- 2012
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-13:2012-10
DIN EN 62047-13:2012-10 発売履歴
- 2012 DIN EN 62047-13:2012-10 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 13 部：MEMS 構造の接合強度を測定するための曲げおよびせん断タイプの試験方法
- 2012 DIN EN 62047-13:2012 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 13: MEMS 構造の接合強度を測定するための曲げおよびせん断試験方法 (IEC 62047-13-2012)、ドイツ語版 EN 62047-13-2012
