T/CASME 798-2023
半導体材料の特殊加工ツール (英語版)

規格番号

T/CASME 798-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CASME 798-2023

範囲

この文書は、半導体材料用特殊加工ツールの用語と定義、分類、基本要件、プロセスフロー、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送および保管、品質保証内容を規定します。

T/CASME 798-2023 発売履歴

• 2023 T/CASME 798-2023 半導体材料の特殊加工ツール