T/IAWBS 011-2019
導電性炭化ケイ素枚葉比抵抗測定法 非接触渦電流法 (英語版)

規格番号

T/IAWBS 011-2019

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2019

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 011-2019

範囲

炭化珪素は、第3世代半導体として、耐高温性、耐高電圧性、耐大電流性の分野で独自の機能と役割を有しており、その技術開発はますます成熟しており、原材料から機能モジュールまで、完全な産業チェーンを形成しました。 炭化ケイ素単結晶の抵抗率の試験は、炭化ケイ素単結晶ウェーハの品質を測定するための重要なパラメータの1つですが、導電性炭化ケイ素単結晶ウェーハの抵抗率の非接触渦電流検査方法については、中国では統一規格がありません。 、統一された業界標準や地域標準が形成されていないため、この標準の策定は国内の導電性炭化ケイ素半導体材料の技術分野における標準ギャップを埋めることになります。 この規格の施行により、導電性炭化ケイ素単結晶成長企業とユーザーが適切な製品を選択するための販売基盤が提供され、我が国の導電性炭化ケイ素半導体材料産業が標準化され、それによって業界の健全かつ秩序ある発展が促進されます。 それはひいては我が国の炭化を促進するだろう 国際市場におけるシリコン半導体企業の影響。

T/IAWBS 011-2019 発売履歴

• 2019 T/IAWBS 011-2019 導電性炭化ケイ素枚葉比抵抗測定法 非接触渦電流法