T/CNIA 0063-2020
電子工業用高純度硝酸 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0063-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0063-2020

範囲

この規格は、エレクトロニクス産業で使用される高純度硝酸の分類、要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、品質証明書、注文（または契約）内容および安全性を規定しています。 この規格は、エレクトロニクス産業で使用される高純度硝酸（以下、高純度硝酸という）に適用されます。 この製品は主に、電子グレードのポリシリコン、液晶表示デバイス、集積回路、および超大規模集積回路用のシリコンウェハおよびチップの洗浄およびエッチングに使用されます。

T/CNIA 0063-2020 発売履歴

• 2020 T/CNIA 0063-2020 電子工業用高純度硝酸