GB/T 34893-2017
光干渉によるMEMS微細構造の面内長さ測定法に基づく微小電気機械システム(MEMS)技術 (英語版)

規格番号

GB/T 34893-2017

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2017

出版団体

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 34893-2017

GB/T 34893-2017 発売履歴

• 2017 GB/T 34893-2017 光干渉によるMEMS微細構造の面内長さ測定法に基づく微小電気機械システム(MEMS)技術