ISO 23131:2021
エリプソメトリーの原理

規格番号

ISO 23131:2021

制定年

2021

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 23131:2021

範囲

この文書は、認定試験機関によるアットライン生産管理、品質保証、材料開発の分野で、UV-VIS-NIR スペクトル範囲の光学定数と誘電率、および層の厚さを決定する方法を規定しています。 スタンドアロンの測定システムに適用できます。 結果の不確実性の表示は ISO/IEC ガイド 98-3 に準拠しています。

ISO 23131:2021 発売履歴

• 2021 ISO 23131:2021 エリプソメトリーの原理