ISO 20146:2019
真空技術、真空計、容量性ダイヤフラム ゲージの校正および測定の不確かさに関する仕様。

規格番号

ISO 20146:2019

制定年

2019

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 20146:2019

範囲

この文書は、静電容量ダイヤフラム ゲージ (CDG) に関連する用語を定義し、CDG に指定する必要があるパラメータを指定し、その校正手順を詳細に説明し、これらのゲージを操作するときに考慮する必要がある測定の不確かさを説明します。 この文書は、ISO 3567 および ISO 27893 を補完するものです。 CDG を校正し、参照標準として使用します。

ISO 20146:2019 規範的参照

• ISO 27893 真空技術、真空計、基準スケールとの直接比較による校正結果の不確かさの評価
• ISO 3529-1 真空技術 - 用語集 - 第 1 部: 一般用語*， 2019-07-16 更新するには
• ISO 3529-3 真空技術、用語集、パート 3: グローバルおよびローカル圧力真空計
• ISO 3567 真空計 基準ゲージとの直接比較により校正
• ISO/IEC Guide 98-3 測定の不確かさの表現に関するガイドライン (GUM:1995) 任意の数の出力量に拡張
• ISO/IEC Guide 99 

ISO 20146:2019 発売履歴

• 2019 ISO 20146:2019 真空技術、真空計、容量性ダイヤフラム ゲージの校正および測定の不確かさに関する仕様。