BS EN ISO 14644-15:2017
クリーンルームおよび関連する管理された環境では、空気中の化学物質の濃度を通じて、使用する機器や材料の適合性が評価されます。

規格番号

BS EN ISO 14644-15:2017

制定年

2018

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 14644-15:2017

BS EN ISO 14644-15:2017 発売履歴

• 2018 BS EN ISO 14644-15:2017 クリーンルームおよび関連する管理された環境では、空気中の化学物質の濃度を通じて、使用する機器や材料の適合性が評価されます。