BS ISO 21501-4:2018+A1:2023
粒度分布測定 単一粒子光相互作用法 クリーンスペース用光散乱空気粒子計数器

規格番号

BS ISO 21501-4:2018+A1:2023

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 21501-4:2018+A1:2023

範囲

適用範囲 この文書は、空気中に浮遊する粒子のサイズ分布と粒子数濃度を測定するために使用される光散乱浮遊粒子計数器 (LSAPC) の校正および検証方法について説明します。 この文書で説明されている光散乱法は、単一粒子の測定に基づいています。 この方法で測定される粒子の典型的なサイズ範囲は、粒子サイズが 0.1 μm ～ 10 μm です。 この文書に準拠した機器は、ISO 14644-1 および ISO 14644-2 に準拠したクリーンルームおよび関連する制御環境の空気清浄度の分類、およびさまざまな環境における粒子の数とサイズ分布の測定に使用されます。 次のパラメータはこの文書の範囲内です。 — サイズ設定エラー。 — 計数効率 ; 　——サイズ解像度; 　——偽カウント ; 　——最大粒子数濃度; 　——サンプリング流量エラー; ...

BS ISO 21501-4:2018+A1:2023 発売履歴

• 2023 BS ISO 21501-4:2018+A1:2023 粒度分布測定 単一粒子光相互作用法 クリーンスペース用光散乱空気粒子計数器
• 2018 BS ISO 21501-4:2018 粒度分布測定 単一粒子光学干渉法 無菌空間光散乱粉塵粒子カウンター
• 2007 BS ISO 21501-4:2007 粒度分布測定 単一粒子光学干渉法 無菌空間光散乱粉塵粒子カウンター