T/CNIA 0114-2021
改良されたシーメンスプロセスの多結晶シリコン副生成物ヘキサクロロジシラン (英語版)

規格番号

T/CNIA 0114-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0114-2021

範囲

この文書は、改良されたシーメンスプロセスからの多結晶シリコンの副産物であるヘキサクロロジシランの技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、付属文書および注文書の内容を規定します。 この文書は、改質シーメンス ポリシリコンの製造中に生成される副生成物であるヘキサクロロジシランに適用されます。

T/CNIA 0114-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0114-2021 改良されたシーメンスプロセスの多結晶シリコン副生成物ヘキサクロロジシラン