T/CNIA 0118-2021
誘導結合プラズマ質量分析法によるエレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量不純物元素含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0118-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0118-2021

範囲

この文書は、エレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の不純物元素 (アルミニウム、アンチモン、ヒ素、バリウム、ホウ素、カドミウム、カルシウム、クロム、銅、鉄、鉛、リチウム、マグネシウム、マンガン、ニッケル) の定量を規定しています。 誘導結合プラズマ質量分析法による、カリウム、ナトリウム、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛）含有量法。 この資料は、エレクトロニクス産業で使用される高純度フッ酸中の微量不純物元素の定量に適しており、測定範囲は0.001μg/kg～10.000μg/kgです。 標準検量線法は各微量不純物元素の含有量 > 0.100 μg/kg に適用され、標準添加法は各微量不純物元素の含有量 ≤ 0.100 μg/kg に適用されます。

T/CNIA 0118-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0118-2021 誘導結合プラズマ質量分析法によるエレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量不純物元素含有量の測定