ISO 14644-13:2017
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 13: 粒子および化学物質の分類に関して規定の清浄度を達成するための表面の洗浄

規格番号

ISO 14644-13:2017

制定年

2017

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 14644-13:2017

ISO 14644-13:2017 発売履歴

• 2017 ISO 14644-13:2017 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 13: 粒子および化学物質の分類に関して規定の清浄度を達成するための表面の洗浄