DIN 50450-4:1993-09
半導体技術の材料試験、キャリアおよびドーピングガス中の不純物の測定、ガスクロマトグラフィーによる窒素中のC(指数)1-C(指数)3-炭化水素の測定

規格番号

DIN 50450-4:1993-09

制定年

1993

出版団体

German Institute for Standardization

最新版

DIN 50450-4:1993-09

DIN 50450-4:1993-09 発売履歴

• 1993 DIN 50450-4:1993-09 半導体技術の材料試験、キャリアおよびドーピングガス中の不純物の測定、ガスクロマトグラフィーによる窒素中のC(指数)1-C(指数)3-炭化水素の測定
• 1993 DIN 50450-4:1993 半導体プロセス材料の検査 キャリアガスおよびドーパントガス中の不純物の測定 ガスクロマトグラフィーによる窒素中のC1-C3炭化水素化合物の測定