T/BSPT 001-2018 (英語版) マイクロ・ナノ加工：レーザー誘起歪みによる大面積表面三次元マイクロ・ナノ構造加工法規格と仕様

範囲: 表面マイクロナノ構造は、多くの独特な光学的および電磁的特性を示し、多くの分野で広く使用されています。表面科学技術の急速な発展に伴い、表面構造の複雑さ、多層性、大面積化に対する要求がますます高まっており、従来のマイクロ・ナノ加工技術はコストやコスト面で限界を迎えています。プロセス、大量生産、精密な設計、制御可能な加工は、新たな課題を引き起こしています。近年、これらの新たな課題に対処するために、さまざまな新しい型破りな加工方法が継続的に探求され、開発されています。レーザー誘起歪みに基づく加工方法は、精密な設計、制御可能な大面積製造、複雑なマルチレベル構造、および低コストでの大量製造という特徴を備えています。この規格は、レーザー誘起歪みに基づく大面積表面の三次元マイクロ・ナノ構造の加工方法の仕様を規定しています。この文書の発行組織は、この文書への準拠を表明する際に、ナノフィルムの調製が含まれる可能性があるという事実に注意を促します [第 7.2 条]。具体的な内容は、特許番号 ZL201010033715.9 [An Ultra] の内容に関連しています。 -微粒子金属または合金およびその製造方法】特許の使用。

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