DIN EN IEC 62276:2023-05
弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法

規格番号

DIN EN IEC 62276:2023-05

制定年

2023

出版団体

German Institute for Standardization

最新版

DIN EN IEC 62276:2023-05

DIN EN IEC 62276:2023-05 発売履歴

• 2023 DIN EN IEC 62276:2023-05 弾性表面波 (SAW) デバイス用途の単結晶ウェーハの仕様と測定方法
• 2023 DIN EN IEC 62276:2023 表面弾性波 (SAW) デバイス用途のための単結晶ウェーハの仕様と測定方法 (IEC 49/1401/CD:2022)、ドイツ語と英語のテキスト