UNE-EN 62047-17:2015
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第17回：薄膜の機械的特性を測定するためのバンプテスト方法

規格番号

UNE-EN 62047-17:2015

制定年

2015

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN 62047-17:2015

UNE-EN 62047-17:2015 発売履歴

• 2015 UNE-EN 62047-17:2015 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第17回：薄膜の機械的特性を測定するためのバンプテスト方法