KS I ISO 14644-14:2018
クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 14: 浮遊粒子濃度による使用に対する機器の適合性の評価

規格番号

KS I ISO 14644-14:2018

制定年

2018

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

状態

入れ替わる 2023-01

に置き換えられる

KS I ISO 14644-14-2023

最新版

KS I ISO 14644-14-2023

KS I ISO 14644-14:2018 発売履歴

• 2023 KS I ISO 14644-14-2023 クリーンルームおよび関連する管理環境 — パート 14: 浮遊粒子濃度による機器の使用の適合性の評価
• 2018 KS I ISO 14644-14:2018 クリーンルームおよび関連する管理環境 - パート 14: 浮遊粒子濃度による使用に対する機器の適合性の評価