T/SZMES 3-2021
薄膜応力測定基板曲げ法 (英語版)
- 規格番号
- T/SZMES 3-2021
- 言語
- 中国語版, 英語で利用可能
- 制定年
- 2021
- 出版団体
- Group Standards of the People's Republic of China
- 最新版
- T/SZMES 3-2021
- 範囲
- この文書では、基板、フィルム、試験片、厚さ、コーティング、物理蒸着技術、曲率半径など、基板曲げ法に基づくフィルム応力測定の用語と定義を指定します。 測定原理：片面塗布前後の基板の曲率半径、初期の基板の曲率半径、基板（塗布面）の曲率半径を測定し、ストーニーの式を用いて膜応力を算出する。
T/SZMES 3-2021 発売履歴
- 2021 T/SZMES 3-2021 薄膜応力測定基板曲げ法
