T/ZZB 2283-2021
半導体グレード炭化ケイ素単結晶用超高純度黒鉛粉末 (英語版)

規格番号

T/ZZB 2283-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/ZZB 2283-2021

範囲

この文書は、半導体グレードの炭化ケイ素単結晶用の超高純度黒鉛粉末の用語と定義、材料仕様、基本要件、技術要件、試験方法、検査規則、ラベル表示、包装、輸送および保管、品質への取り組みを規定します。 この文書は、純度 5 N (99.999 %) 以上の半導体グレードの炭化ケイ素単結晶用黒鉛粉末に適用されます。

T/ZZB 2283-2021 発売履歴

• 2021 T/ZZB 2283-2021 半導体グレード炭化ケイ素単結晶用超高純度黒鉛粉末