BS IEC 63229:2021
半導体デバイス用炭化珪素基板上の窒化ガリウムエピタキシャル膜の欠陥分類

規格番号

BS IEC 63229:2021

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS IEC 63229:2021

BS IEC 63229:2021 発売履歴

• 2023 BS IEC 63229:2021 半導体デバイス用炭化珪素基板上の窒化ガリウムエピタキシャル膜の欠陥分類