BS ISO 21360-5:2023
真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 非蒸発ゲッター（NEG）真空ポンプ

規格番号

BS ISO 21360-5:2023

制定年

2023

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS ISO 21360-5:2023

BS ISO 21360-5:2023 発売履歴

• 2023 BS ISO 21360-5:2023 真空技術 真空ポンプの標準性能測定方法 非蒸発ゲッター（NEG）真空ポンプ