T/IAWBS 015-2021
酸化ガリウム単結晶ウェーハのX線ツインロッキングカーブの半値幅の試験方法 (英語版)

規格番号

T/IAWBS 015-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 015-2021

範囲

酸化ガリウム (Ga2O3) は、4.9 eV の超広いバンドギャップ、自然な太陽光を遮る紫外線特性、および非常に高い破壊電界強度により、広く注目を集めています。 酸化ガリウムは日よけ、高電圧・高温耐性、低損失・高出力などの特性を有しており、半導体パワーデバイスやパワーエレクトロニクスデバイスにおいて幅広い市場が期待されています。 酸化ガリウム単結晶材料は酸化ガリウムの成長に最も適した基板であり、エピタキシャル膜の品質向上、転位密度の低減、デバイス効率の向上、寿命の延長などにおいて、かけがえのない利点を持っています。 酸化ガリウム単結晶材料の重要な性能指標の 1 つは結晶品質であり、高分解能 X 線回折ロッキングカーブ半値幅試験は高速、非破壊、高精度という利点を備えています。 この方法は、業界における製品の品質評価の標準化に役立ち、業界の健全な発展と半導体材料の標準化を促進する上で重要な役割を果たすことができます。

T/IAWBS 015-2021 発売履歴

• 2021 T/IAWBS 015-2021 酸化ガリウム単結晶ウェーハのX線ツインロッキングカーブの半値幅の試験方法