UNE-EN ISO 14644-10:2022
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価

規格番号

UNE-EN ISO 14644-10:2022

制定年

2022

出版団体

ES-UNE

最新版

UNE-EN ISO 14644-10:2022

UNE-EN ISO 14644-10:2022 発売履歴

• 2022 UNE-EN ISO 14644-10:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学的に汚染された表面の清浄度の評価
• 2014 UNE-EN ISO 14644-10:2014 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 10: 化学物質濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-10:2013)