T/QGCML 744-2023
半導体装置部品の薬液洗浄工程仕様書 (英語版)

規格番号

T/QGCML 744-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/QGCML 744-2023

範囲

この規格は、半導体装置部品の化学洗浄プロセス仕様について、用語の定義、技術要件、化学洗浄プロセス仕様を規定しています。 この規格は、半導体装置部品の化学洗浄プロセスに適用されます。

T/QGCML 744-2023 発売履歴

• 2023 T/QGCML 744-2023 半導体装置部品の薬液洗浄工程仕様書