NF EN 62047-2:2006
半導体デバイス マイクロ電気機械デバイス パート 2: 薄膜材料の引張試験方法

規格番号

NF EN 62047-2:2006

制定年

2006

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN 62047-2:2006

NF EN 62047-2:2006 発売履歴

• 2006 NF EN 62047-2:2006 半導体デバイス マイクロ電気機械デバイス パート 2: 薄膜材料の引張試験方法