BS EN ISO 14644-8:2022
クリーンルームおよび関連する管理環境は、化学物質濃度によって空気清浄度 (ACC) を評価します。

規格番号

BS EN ISO 14644-8:2022

制定年

2022

出版団体

British Standards Institution (BSI)

最新版

BS EN ISO 14644-8:2022

範囲

適用範囲 この文書は、特定の化学物質 (個人、グループ、カテゴリー) の空気中濃度に関して、クリーンルームおよび関連する管理環境における空気化学的清浄度 (ACC) の等級レベルを決定するための典型的な評価プロセスを確立し、テストを含むプロトコルを提供します。 それらを決定するための方法、分析、および時間加重要素。 この文書は現在、クリーンルームの動作条件下で 10 0 g/m 3 から 10 -12 g/m 3 までの空気化学汚染物質の濃度のみを考慮しています。 この文書は、浮遊化学物質の存在が製品またはプロセスに対するリスクとみなされない産業、プロセス、または生産での適用には関係ありません。 この文書の目的は、大気化学汚染物質の性質を説明することではありません。 この文書には、表面の化学汚染の分類は記載されていません。

BS EN ISO 14644-8:2022 発売履歴

• 2022 BS EN ISO 14644-8:2022 クリーンルームおよび関連する管理環境は、化学物質濃度によって空気清浄度 (ACC) を評価します。
• 2013 BS EN ISO 14644-8:2013 クリーンルームおよび関連する管理環境 化学物質濃度を利用した空気清浄度分類 (ACC)
• 0000 BS EN ISO 14644-8:2006