DIN EN 62047-11:2014-04
半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法
- 規格番号
- DIN EN 62047-11:2014-04
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- German Institute for Standardization
- 最新版
- DIN EN 62047-11:2014-04
DIN EN 62047-11:2014-04 発売履歴
- 2014 DIN EN 62047-11:2014-04 半導体デバイス - 微小電気機械デバイス - パート 11: 微小電気機械システム用自立材料の線熱膨張係数の試験方法
- 2014 DIN EN 62047-11:2014 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 11: 微小電気機械デバイス用サポートなしの材料の線熱膨張係数の試験方法 (IEC 62047-11-2013)、ドイツ語版 EN 62047-11-2013
- 0000 DIN IEC 62047-11:2010
