EN 62047-1:2016
半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 1: 用語と定義

規格番号

EN 62047-1:2016

制定年

2016

出版団体

European Committee for Electrotechnical Standardization（CENELEC）

最新版

EN 62047-1:2016

範囲

IEC 62047-1:2016 は、そのようなデバイスの製造プロセスを含むマイクロ電気機械デバイスの用語を定義しています。 この版には、前版に対して次の重要な技術的変更が含まれています: a) 10 個の用語の削除; b) 12 個の用語の改訂; c) 16 の新しい用語の追加。

EN 62047-1:2016 発売履歴

• 2016 EN 62047-1:2016 半導体デバイス、微小電気機械デバイス、パート 1: 用語と定義
• 2006 EN 62047-1:2006 半導体デバイス、微小電気機械装置、パート 1: 用語と定義 IEC 62047-1:2005