T/CNIA 0120-2021
誘導結合プラズマ質量分析法によるエレクトロニクス産業で使用される高純度硝酸中の微量不純物元素含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0120-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0120-2021

範囲

この文書は、硝酸に使用される高純度硝酸中の不純物元素（アルミニウム、アンチモン、ヒ素、バリウム、ホウ素、カドミウム、カルシウム、クロム、銅、鉄、鉛、リチウム、マグネシウム、マンガンなど）の含有量の測定方法を規定しています。 誘導結合プラズマ質量分析法によるエレクトロニクス産業 (ニッケル、カリウム、ナトリウム、スズ、チタン、バナジウム、亜鉛) 法。 この資料は、エレクトロニクス産業で使用される高純度硝酸中の微量不純物元素の測定に適しており、各元素の測定範囲は 0.001μg/kg ～ 10.000μg/kg です。 標準検量線法は不純物元素含有量＞0.100μg/kg～10.000μg/kgに適しており、標準添加法は不純物元素含有量≦0.100μg/kg～0.001μg/kgに適しています。

T/CNIA 0120-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0120-2021 誘導結合プラズマ質量分析法によるエレクトロニクス産業で使用される高純度硝酸中の微量不純物元素含有量の測定