T/CHBAS 32-2023
集積回路用混合ガス 3% 重水素/窒素 (英語版)

規格番号

T/CHBAS 32-2023

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2023

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CHBAS 32-2023

範囲

この文書は、集積回路用の 3% 重水素/窒素混合ガスの技術要件、テスト方法、検査規則、マーキング、ラベル表示、梱包、輸送、保管、および安全要件を指定します。 この文書は、集積回路用の 3% 重水素/窒素混合ガス (以下、3% 重水素/窒素と呼びます) に適用されますが、他の成分比率の重水素-窒素混合ガスも同様に実装できます。

T/CHBAS 32-2023 発売履歴

• 2023 T/CHBAS 32-2023 集積回路用混合ガス 3% 重水素/窒素