ISO 24639:2022
マイクロビーム分析、分析電子顕微鏡、電子エネルギー損失分光法による元素分析のためのエネルギースケーリング手順。

規格番号

ISO 24639:2022

制定年

2022

出版団体

International Organization for Standardization (ISO)

最新版

ISO 24639:2022

範囲

この文書は、（走査型）透過電子顕微鏡における電子エネルギー損失分光法のエネルギーステップとエネルギースケールの校正手順を、エネルギー範囲 0 eV ～ 3000 eV で ±3 % までの不確かさまで規定します。 この文書は、薄い箔サンプルなどの十分に電子を透過するサンプルを透過した電子エネルギー損失分光法を対象としており、バルクサンプルからの後方散乱電子を対象として設計されていません。

ISO 24639:2022 規範的参照

• ISO 15932 マイクロビーム分析、分析電子顕微鏡、語彙

ISO 24639:2022 発売履歴

• 2022 ISO 24639:2022 マイクロビーム分析、分析電子顕微鏡、電子エネルギー損失分光法による元素分析のためのエネルギースケーリング手順。