T/IAWBS 016-2022
炭化珪素単結晶ウェーハのX線ツインロッキングカーブの半値幅の試験方法 (英語版)

規格番号

T/IAWBS 016-2022

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2022

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/IAWBS 016-2022

範囲

この文書は、炭化ケイ素単結晶の材料性能特性に基づいて、国内の炭化ケイ素結晶品質検査技術の現在の研究レベルと組み合わせて、炭化ケイ素単結晶揺動の測定原理、測定精度保証、測定手順などを規定します。 曲線。 この文書の主な構成と内容は次のとおりです: この文書のトピックの章は 9 つの章に分かれており、主な内容は次のとおりです: 範囲、規範参照文書、用語と定義、テスト原理、テスト機器、干渉要因、テスト環境、試験サンプル、試験手順、精度、試験報告書および付録。

T/IAWBS 016-2022 発売履歴

• 2022 T/IAWBS 016-2022 炭化珪素単結晶ウェーハのX線ツインロッキングカーブの半値幅の試験方法