DB15/T 1241-2017
シラン法により製造された多結晶シリコンの排ガス中のシラン含有量のガスクロマトグラフィーによる定量 (英語版)

規格番号

DB15/T 1241-2017

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2017

出版団体

Inner Mongolia Provincial Standard of the People's Republic of China

最新版

DB15/T 1241-2017

DB15/T 1241-2017 発売履歴

• 2017 DB15/T 1241-2017 シラン法により製造された多結晶シリコンの排ガス中のシラン含有量のガスクロマトグラフィーによる定量