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- ASTM F671-99
- 規格番号
- ASTM F671-99
- 制定年
- 1970
- 出版団体
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- 最新版
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ASTM F671-99
- 範囲
- 1.1 この試験方法は、ウェーハ周縁部の平坦な部分の長さを決定するための技術を対象としています。
1.2 この試験方法は主に、平らな長さが最大 65 mm の名目上円形のエッジ輪郭を持つウェーハの形の電子材料での使用を目的としています。
この試験方法の精度はシリコン ウェーハに対してのみ直接確立されていますが、材料に依存するとは予想されません。
1.3 この試験方法は、審判測定の目的に適しており、指定された制限が手持ちスケールや肉眼で得られるよりも高い試験精度を必要とする場合の日常的な合格測定に使用できます。
1.4 この試験方法は表面仕上げとは無関係です。
1.5 直径 3 インチ以下のウェーハに適用する場合、インチポンド単位で記載された値は標準とみなされます。
許容可能なメートル単位で記載されている値は情報提供のみを目的としています。
直径が 3 インチを超えるウェーハに適用する場合、許容可能なメートル単位で記載された値は、括弧内に表示されるかどうかに関係なく、標準とみなされます。
インチポンド単位で記載された値は情報提供のみを目的としています。
注 1 - DIN 50441、パート 4、2 は、平坦部の長さを決定するための同様の方法ですが、同等ではありません。
この方法では、平坦部の長さは平坦部の深さの測定から計算されます。
この方法では、フラットの端の丸みは補正されません。
1.6 この規格は、その使用に関連する安全上の懸念がある場合でも、それに対処することを目的としたものではありません。
適切な安全衛生慣行を確立し、使用前に規制上の制限の適用可能性を判断することは、この規格のユーザーの責任です。
ASTM F671-99 規範的参照
- ASTM E122 サンプルサイズを計算して、指定された許容誤差を持つ標準実践バッチまたはプロセス特性の平均値を推定します*， 2000-10-10 更新するには
ASTM F671-99 発売履歴
