KS D 0261-2012(2022)
ミラーシリコンウェーハの外観検査

規格番号

KS D 0261-2012(2022)

制定年

2012

出版団体

Korean Agency for Technology and Standards (KATS)

最新版

KS D 0261-2012(2022)

KS D 0261-2012(2022) 発売履歴

• 2022 KS D 0261-2022 鏡面シリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2012(2017)
• 2012 KS D 0261-2012 ミラーシリコンウェーハの外観検査
• 0000 KS D 0261-2002