T/CNIA 0117-2021
イオンクロマトグラフィーによるエレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量陰イオン含有量の測定 (英語版)

規格番号

T/CNIA 0117-2021

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2021

出版団体

Group Standards of the People's Republic of China

最新版

T/CNIA 0117-2021

範囲

この文書は、エレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量陰イオン (塩化物、硝酸塩、リン酸塩、硫酸塩) をイオンクロマトグラフィーによって定量する方法を規定しています。 この文書は、エレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量アニオン含有量の測定に適しています。 測定範囲：10.000μg/kg～5000.000μg/kg。

T/CNIA 0117-2021 発売履歴

• 2021 T/CNIA 0117-2021 イオンクロマトグラフィーによるエレクトロニクス産業で使用される高純度フッ化水素酸中の微量陰イオン含有量の測定