GB/T 38976-2020
不活性ガス溶融赤外線法によるシリコン材料中の酸素含有量の測定 (英語版)

規格番号

GB/T 38976-2020

言語

中国語版, 英語で利用可能

制定年

2020

出版団体

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

最新版

GB/T 38976-2020

範囲

この規格は、不活性ガス溶融および赤外線技術を使用してシリコン材料の酸素含有量を試験する方法を指定します。 この規格は、導電型や抵抗率の範囲が異なるシリコン単結晶および多結晶シリコンの酸素含有量を試験するのに適しており、試験範囲は2.5×1510cm-3（0.05ppma）～2.5×1018cm-3（50ppma）です。 注: シリコン材料の酸素含有量は、立方センチメートルあたりの原子数で測定されます。

GB/T 38976-2020 規範的参照

• GB/T 14264 半導体材料用語
• GB/T 1557 シリコン結晶中の格子間酸素量の赤外吸収測定法

GB/T 38976-2020 発売履歴

• 2020 GB/T 38976-2020 不活性ガス溶融赤外線法によるシリコン材料中の酸素含有量の測定