T/QGCML 2307-2023
フォトレジスト用の低金属含量テトラメトキシメチルグリコールウリルの製造に関する技術要件 (英語版)
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T/QGCML 2307-2023
規格番号
T/QGCML 2307-2023
言語
中国語版,
英語で利用可能
制定年
2023
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/QGCML 2307-2023
範囲
この文書は、フォトレジスト用の低金属含量テトラメトキシメチルグリコールウリルの製造に関する技術要件の用語と定義、技術要件、試験方法、検査規則、マーキング、包装、輸送および保管を規定します。 この文書は、フォトレジスト用の低金属含有テトラメトキシメチルグリコールウリルの製造と検査に適用されます。
T/QGCML 2307-2023 発売履歴
2023
T/QGCML 2307-2023
フォトレジスト用の低金属含量テトラメトキシメチルグリコールウリルの製造に関する技術要件
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