DIN EN ISO 23216:2023-01
炭素系膜 - 分光エリプソメトリーによるアモルファス炭素膜の光学特性の測定
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DIN EN ISO 23216:2023-01
規格番号
DIN EN ISO 23216:2023-01
制定年
2023
出版団体
German Institute for Standardization
最新版
DIN EN ISO 23216:2023-01
DIN EN ISO 23216:2023-01 発売履歴
2023
DIN EN ISO 23216:2023-01
炭素系膜 - 分光エリプソメトリーによるアモルファス炭素膜の光学特性の測定
1970
DIN EN ISO 23216 E:2022-08
炭素系膜 分光エリプソメトリーによるアモルファス炭素膜の光学特性の測定(案)
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