T/ICMTIA SM0028-2022
集積回路用の電子グレードのポリシリコン (英語版)

規格番号
T/ICMTIA SM0028-2022
言語
中国語版, 英語で利用可能
制定年
2022
出版団体
Group Standards of the People's Republic of China
最新版
T/ICMTIA SM0028-2022
範囲
この文書は、集積回路用電子グレードポリシリコンのグレードとカテゴリー、技術的要件、試験方法、検査規則、マーキング、梱包、輸送、保管、添付文書、注文書の内容を規定しています。 この文書は、クロロシランおよびシランから製造される集積回路用の電子グレードのポリシリコン (以下、「ポリシリコン」と呼びます) に適用されます。

T/ICMTIA SM0028-2022 発売履歴



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