EN ISO 23216:2022
炭素系フィルム エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定

規格番号

EN ISO 23216:2022

制定年

2022

出版団体

European Committee for Standardization (CEN)

状態

撤回 2023-05

最新版

EN ISO 23216:2022

範囲

この文書は、光学特性 (屈折率 n および消衰係数 k) の決定および nk 面内のさまざまな種類のアモルファス カーボン フィルムの光学的分類のための分光エリプソメトリーを規定しています。 イオン化蒸着、スパッタリング、アーク蒸着、プラズマ支援化学蒸着、熱フィラメント技術などによって蒸着されたアモルファスカーボン膜に適用できます。 金属やシリコンで改質された炭素膜、膜厚に組成・物性の勾配のあるアモルファス炭素膜、塗料、ワニスには適用されません。

EN ISO 23216:2022 発売履歴

• 2022 EN ISO 23216:2022 炭素系フィルム エリプソメトリーによるアモルファスカーボンフィルムの光学特性の測定