NF EN 62047-11:2014
半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 11 部: 微小電気機械システムの内蔵材料の線熱膨張係数の試験方法

規格番号

NF EN 62047-11:2014

制定年

2014

出版団体

Association Francaise de Normalisation

最新版

NF EN 62047-11:2014

NF EN 62047-11:2014 発売履歴

• 2014 NF EN 62047-11:2014 半導体デバイス 微小電気機械デバイス 第 11 部: 微小電気機械システムの内蔵材料の線熱膨張係数の試験方法