UNE-EN ISO 14644-9:2014
クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-9:2012)
- 規格番号
- UNE-EN ISO 14644-9:2014
- 制定年
- 2014
- 出版団体
- AENOR
- 状態
- に置き換えられる
- UNE-EN ISO 14644-9:2022
- 最新版
- UNE-EN ISO 14644-9:2022
UNE-EN ISO 14644-9:2014 発売履歴
- 2022 UNE-EN ISO 14644-9:2022 クリーンルームおよび関連管理環境パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の評価
- 2014 UNE-EN ISO 14644-9:2014 クリーンルームおよび関連する管理環境 パート 9: 粒子濃度による表面清浄度の分類 (ISO 14644-9:2012)
